CVD氣相沉積爐
化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規格
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產品型號/規格W×H×L(mm) |
600*600*1000 |
800*800*1200 |
1000*1000*1500 |
1200*1200*2500 |
1500*1500*3000 |
2500*2000*3600 |
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裝載重量(KG) |
350 |
800 |
1500 |
2500 |
5000 |
10000 |
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最高溫度(℃) |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
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溫度均勻性(℃) |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
±15 |
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加熱功率(kw) |
250 |
360 |
480 |
600 |
900 |
1200 |
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極限真空度(Pa) |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
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壓升率(Pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
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以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。 |
化學氣相沉積爐主要配置
爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產
真空泵和真空計---進口/國產
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機
電器元件：正泰/施耐德/西門子
料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學氣相沉積爐技術特征
本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；
本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
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